東北大学 事業支援機構 総合技術部

電子回路・測定・実験群 半導体チームでは、2026年3月10日（火）にチーム研修を開催しました。
本研修は、クリーンルームおよび附帯設備に関する知識を習得することで、研究環境の最適化、および研究の高度化・発展に寄与することを目的として実施されました。
ナノ・スピン実験施設の施設維持管理の発表を聞きながら、参加者各々が所属する施設におけるクリーンルームや実験室、およびその附帯設備の維持管理に関するトラブル事例や管理手法について活発な意見交換がなされました。この研修を通じて、これまで慣習的に維持されてきた温湿度等の設定値や管理手法を改めて見直す契機となり、研究環境のさらなる向上に向けた共通認識の形成が図られました。特に、過剰な精度維持の見直しによる省エネ化やコスト削減の可能性についても議論が及び、効率的な施設運営に向けた具体的な足掛かりを得ることができ、非常に有意義な研修となりました。

研修内容
クリーンルーム、および附帯設備の維持管理方法に関する情報交換

概要
次世代半導体の国産化プロジェクトやAI半導体への巨大投資などにより、半導体分野は国内外を問わず注目を集めています。当学においても多岐にわたる研究が行われており、クリーンルームはそれらの研究を支え、成果を生み出す施設として非常に重要です。
本研修では、クリーンルームおよび附帯設備に関する知識を習得することで、研究環境の最適化、および研究の高度化・発展に寄与することを目的としています。

開催日時
2026年3月10日（火） 13:30 - 17:15

プログラム
13:30～15:30 ナノ・スピン実験施設クリーンルーム維持管理の方針等の説明
15:30～16:30 ナノ・スピン実験施設クリーンルーム改修現場の見学
16:30～17:15 施設管理に関する意見交換

開催形式
対面方式

参加者数
5名

研修の様子