東北大学 事業支援機構 総合技術部

分析・評価・観測群 表面分析チームは、材料の表面に電子線やX線などを照射して分析する装置で技術支援を行っています。表面を分析する装置で括られていますが、それぞれの装置からは特徴的な情報が得られることから、各装置の理解を深めるために、当チームは今年度に“共通サンプル測定”をテーマにした研修を企画しました。7月末に同一サンプルをチームメンバーに配布し、各々が担当装置で分析を行い、9月13日（火）、12月15日（木）と2回の報告会を開催して、結果を議論しました。 この研修により、各装置から得られるデータの違いや、普段扱わない装置への理解を深めることができ、またメンバー間の交流などを通してチーム連携を強化することができました。 5種類の分析手法と、延べ15台の装置（X線光電子分光装置（XPS）:4台、オージェ電子分光装置（AES）:2台、飛行時間型二次イオン質量分析計（TOF-SIMS）:2台、電子線プローブマイクロアナライザー（EPMA）:3台、蛍光X線分析装置（XRF）:2台、透過型電子顕微鏡（TEM）:2台)を用いて得られた分析結果をまとめた資料を作成しましたので、ぜひご覧ください。